中圖儀器SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀具有測(cè)量精度高,、功能全面,、操作便捷、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),。它基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式，測(cè)量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸,，測(cè)量單個(gè)精密器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測(cè)。并且其特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測(cè)量,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

(2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

(3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

(4)分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析,，晶粒分析等；

2,、二維圖像分析：距離,，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；

3,、表界面測(cè)量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面,；

4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量；

5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量,；

6,、微電子表面分析和MEMS表征。

應(yīng)用領(lǐng)域

對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例：

SuperViewW1白光干涉儀光學(xué)輪廓儀雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),，確保儀器在車間也能正常工作。

部分技術(shù)指標(biāo)

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息,，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。