中圖激光干涉儀sj6000具有測量精度高,、測量范圍大,、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點,，結合不同的光學鏡組,，可實現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量,。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實現(xiàn)線性位移,、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進行位移、速度,、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析,、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。

功能特點

1,、精度高

中圖激光干涉儀sj6000以干涉技術為核心,，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術,，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠,。

2、功能廣

（1）可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,，以及導軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準,；

（4）可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等,；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

3,、軟件強

（1）友好的人機界面,；

（2）豐富的應用功能模塊；

（3）向導式的操作流程,；

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組,、角度鏡組、直線度鏡組,、垂直度鏡組,、平面度鏡組、自動精密轉臺,。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標配，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構成,。可滿足線性位移設備的定位精度,、重復定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補償,。

應用領域

部分技術規(guī)格

平面度測量配置需求：平面度鏡組＋角度鏡組

平行度測量配置需求：依據(jù)軸向量程范圍,，選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求：短直線度鏡組＋垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求：長直線度鏡組＋垂直度鏡組

直線度附件：主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

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