NS系列中圖國產(chǎn)臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級的分辨率,，同時,，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制,、標定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性,。

工作原理

當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時,，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時還沿峰谷作上下運動。觸針的運動情況就反映了表面輪廓的情況,。

NS系列中圖國產(chǎn)臺階儀通常使用2μm半徑的金剛石針尖來測量這些小特征,。一個精密的xy載物臺聯(lián)合掃描軸R和轉(zhuǎn)臺θ，在測針下移動樣品,，測針中的垂直位移被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相對應(yīng)的電信號,。然后將這些電信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式，在其中它們可以顯示在計算機屏幕上并進行操作以確定有關(guān)基材的各種分析信息,?？梢晕⒄{(diào)掃描長度和掃描速度，以增加或減少分析時間和分辨率,。此外,，測力可調(diào)以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。

結(jié)構(gòu)（主要組成部分）

1,、測量系統(tǒng)

（1）單拱龍門式設(shè)計,，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動噪音對測量信號的影響,，提高了測量精度,。

（2）線性可變差動電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級分辨率，13μm量程下可達0.01埃,。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。

（3）傳感器設(shè)計使得在單一平臺上即可實現(xiàn)超微力和正常力測量,。測力恒定可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,，實現(xiàn)無接觸損傷的精準接觸式測量,。

2、工件臺

（1）精密的XY平臺結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動旋轉(zhuǎn)臺,，可以對樣品的位置以及角度進行調(diào)節(jié),，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整,。

（2）超高直線度導(dǎo)軌,，有效避免運動中的細微抖動，提高掃描精度,，真是反映工件微小形貌,。

3、成像系統(tǒng)

500萬像素高分辨率彩色攝像機,，即時進行高精度定位測量,。可以將探針的形貌圖像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,，使得測量更加直觀,。

4、軟件系統(tǒng)

測量軟件包含多個模塊,。

5,、減震系統(tǒng)

防止微小震動對測量結(jié)果的影響，使實驗數(shù)據(jù)更加準確,。

性能特點

1.亞埃級位移傳感器

具有亞埃級分辨率,，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計降低環(huán)境噪聲干擾，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性,；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面，采用超低慣量設(shè)計和微小電磁力控制,，實現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量,；

3.超平掃描平臺

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運動中的細微抖動，真實地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動）

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。