NS系列中圖國產(chǎn)臺(tái)階儀采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC,，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率,，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集,、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制,、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復(fù)性,。

工作原理

當(dāng)觸針沿被測表面輕輕滑過時(shí),，由于表面有微小的峰谷使觸針在滑行的同時(shí)還沿峰谷作上下運(yùn)動(dòng)。觸針的運(yùn)動(dòng)情況就反映了表面輪廓的情況,。

NS系列中圖國產(chǎn)臺(tái)階儀通常使用2μm半徑的金剛石針尖來測量這些小特征,。一個(gè)精密的xy載物臺(tái)聯(lián)合掃描軸R和轉(zhuǎn)臺(tái)θ，在測針下移動(dòng)樣品,，測針中的垂直位移被轉(zhuǎn)換為與特征尺寸相對(duì)應(yīng)的電信號(hào),。然后將這些電信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字格式，在其中它們可以顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上并進(jìn)行操作以確定有關(guān)基材的各種分析信息,?？梢晕⒄{(diào)掃描長度和掃描速度，以增加或減少分析時(shí)間和分辨率,。此外,，測力可調(diào)以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。

結(jié)構(gòu)（主要組成部分）

1,、測量系統(tǒng)

（1）單拱龍門式設(shè)計(jì),，結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好，而且降低了周圍環(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測量信號(hào)的影響，提高了測量精度,。

（2）線性可變差動(dòng)電容傳感器（LVDC）,，具有亞埃級(jí)分辨率，13μm量程下可達(dá)0.01埃,。高信噪比和低線性誤差,，使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。

（3）傳感器設(shè)計(jì)使得在單一平臺(tái)上即可實(shí)現(xiàn)超微力和正常力測量,。測力恒定可調(diào),，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)材料表面。超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的精準(zhǔn)接觸式測量,。

2、工件臺(tái)

（1）精密的XY平臺(tái)結(jié)合360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)電動(dòng)旋轉(zhuǎn)臺(tái),，可以對(duì)樣品的位置以及角度進(jìn)行調(diào)節(jié),，三維位置均可以調(diào)節(jié)，利于樣品調(diào)整,。

（2）超高直線度導(dǎo)軌,，有效避免運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng)，提高掃描精度,，真是反映工件微小形貌,。

3、成像系統(tǒng)

500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī),，即時(shí)進(jìn)行高精度定位測量,?？梢詫⑻结樀男蚊矆D像傳輸?shù)娇刂齐娔X上,，使得測量更加直觀。

4,、軟件系統(tǒng)

測量軟件包含多個(gè)模塊,。

5、減震系統(tǒng)

防止微小震動(dòng)對(duì)測量結(jié)果的影響,，使實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)更加準(zhǔn)確,。

性能特點(diǎn)

1.亞埃級(jí)位移傳感器

具有亞埃級(jí)分辨率，結(jié)合單拱龍門式設(shè)計(jì)降低環(huán)境噪聲干擾,，確保儀器具有良好的測量精度及重復(fù)性,；

2.超微力恒力傳感器

1-50mg可調(diào)，以適應(yīng)硬質(zhì)或軟質(zhì)樣品表面,，采用超低慣量設(shè)計(jì)和微小電磁力控制,，實(shí)現(xiàn)無接觸損傷的接觸式測量；

3.超平掃描平臺(tái)

系統(tǒng)配有超高直線度導(dǎo)軌，杜絕運(yùn)動(dòng)中的細(xì)微抖動(dòng),，真實(shí)地還原掃描軌跡的輪廓起伏和樣件微觀形貌,。

典型應(yīng)用

部分技術(shù)參數(shù)

使用環(huán)境

相對(duì)濕度：濕度 （無凝結(jié)）30-40% RH

溫度：16-25℃ (每小時(shí)溫度變化小于2℃)

地面振動(dòng)：6.35μm/s（1-100Hz）

音頻噪音：≤80dB

空氣層流：≤0.508 m/s（向下流動(dòng)）

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢,。