中圖儀器SuperViewW1白光干涉微觀形貌儀基于白光干涉原理,，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸,?？蓮V泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中。

應用領域

對各種產品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

應用范例：

性能特色

1,、高精度,、高重復性

1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性,；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備的環(huán)境噪聲檢測模塊能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設備調試,、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數據作為支撐。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風險,。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

SuperViewW1白光干涉微觀形貌儀具有測量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測量參數涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時短,，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，具有的測量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應變測量以及表面形貌測量,。

部分技術指標

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