中圖儀器VT6000系列共焦顯微鏡測量儀以共聚焦技術(shù)為原理,，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

應(yīng)用領(lǐng)域

VT6000系列共焦顯微鏡測量儀可對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

應(yīng)用場景

1,、鐳射槽

測量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中，在將晶圓分割成一片片的小芯片前,，需要對晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失，會先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,，在工藝上需要對引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測,。

2、光伏

在太陽能電池制作工程中,，柵線的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,，直接影響著太陽能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對柵線進(jìn)行快速檢測,。此外,，太陽能電池制作過程中,，制絨作為關(guān)鍵核心工藝，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素,。共聚焦顯微鏡具有納米級別的縱向分辨能力，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

3,、其他

性能特色

1、高精度,、高重復(fù)性

1）以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng),，保證儀器的高測量精度,；

2）隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復(fù)性,。

2、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作,，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,，實現(xiàn)了快速批量測量的功能,；

2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程；

4）幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,；

5）一鍵分析、多文件分析,，自由組合分析項保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù)。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險。

部分技術(shù)指標(biāo)

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢,。