中圖儀器VT6000系列共焦顯微鏡測(cè)量?jī)x以共聚焦技術(shù)為原理,，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車(chē)零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類(lèi)包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀(guān)幾何輪廓,、曲率等。

應(yīng)用領(lǐng)域

VT6000系列共焦顯微鏡測(cè)量?jī)x可對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、平面度、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

應(yīng)用范例：

應(yīng)用場(chǎng)景

1,、鐳射槽

測(cè)量晶圓上激光鐳射槽的深度：半導(dǎo)體后道制造中,，在將晶圓分割成一片片的小芯片前，需要對(duì)晶圓進(jìn)行橫縱方向的切割,，為確保減少切割引發(fā)的崩邊損失,，會(huì)先采用激光切割機(jī)在晶圓表面燒蝕出U型或W型的引導(dǎo)槽,，在工藝上需要對(duì)引導(dǎo)槽的槽型深寬尺寸進(jìn)行檢測(cè),。

2、光伏

在太陽(yáng)能電池制作工程中,，柵線(xiàn)的高寬比決定了電池板的遮光損耗及導(dǎo)電能力,，直接影響著太陽(yáng)能電池的性能。共聚焦顯微鏡可以對(duì)柵線(xiàn)進(jìn)行快速檢測(cè),。此外,，太陽(yáng)能電池制作過(guò)程中，制絨作為關(guān)鍵核心工藝,，金字塔結(jié)構(gòu)的質(zhì)量影像減反射焰光效果,，是光電轉(zhuǎn)換效率的重要決定因素。共聚焦顯微鏡具有納米級(jí)別的縱向分辨能力,，能夠?qū)﹄姵匕褰q面這種表面反射率低且形貌復(fù)雜的樣品進(jìn)行三維形貌重建,。

3、其他

性能特色

1,、高精度,、高重復(fù)性

1）以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng),，保證儀器的高測(cè)量精度,；

2）隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測(cè)量重復(fù)性,。

2、一體化操作的測(cè)量分析軟件

1）測(cè)量與分析同界面操作,，無(wú)須切換,，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能,；

2）可視化窗口,，便于用戶(hù)實(shí)時(shí)觀(guān)察掃描過(guò)程；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程,；

4）幾何分析、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全,；

5）一鍵分析,、多文件分析，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；

6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù),。

3、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦等測(cè)量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。

部分技術(shù)指標(biāo)

如有疑問(wèn)或需要更多詳細(xì)信息，請(qǐng)隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢(xún),。