SuperViewW3d表面光學(xué)輪廓檢測儀以白光干涉技術(shù)為原理，獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。它集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點(diǎn),，適用于從超光滑到粗糙,、平面到弧面等各種表面類型，讓3D測量變得簡單,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

(2)測量中提供自動(dòng)對焦,、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

(3)測量中提供自動(dòng)拼接測量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

產(chǎn)品特點(diǎn)

參數(shù)測量：粗糙度、微觀輪廓尺寸,、角度,、面積、體積,，一網(wǎng)打盡,；

環(huán)境噪聲檢測：實(shí)時(shí)監(jiān)測，納米波動(dòng),，也無可藏匿,；

雙重防撞保護(hù)：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器，讓“以卵擊石"也能安然無恙,；

自動(dòng)拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋,，讓3D拼接“天衣無縫"；

雙重振動(dòng)隔離：氣浮隔振,，吸音隔振,，任你“地動(dòng)山搖，我自巋然不動(dòng)",。

部分技術(shù)指標(biāo)

如有疑問或需要更多詳細(xì)信息,，請隨時(shí)聯(lián)系中圖儀器咨詢。

SuperViewW3d表面光學(xué)輪廓檢測儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。