基于白光干涉原理,，中圖儀器自主研發(fā)生產(chǎn)的SuperViweW1白光干涉三維輪廓儀chotest采用集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點的擴展型相移算法EPSI,，單一模式即可適用于從平面到弧面,、超光滑到粗糙等各種表面類型，其3D重建算法,，自動濾除樣品表面噪點,，在硬件系統(tǒng)的配合測量精度可達亞納米級別，讓3D測量變得簡單,。

產(chǎn)品特點

1,、參數(shù)測量：粗糙度、圍觀輪廓尺寸,、角度,、面積、體積,；

2,、環(huán)境噪聲檢測：實時監(jiān)測；

3,、雙重防撞保護：軟件ZSTOP和Z向硬件傳感器,；

4、自動拼接：3軸光柵閉環(huán)反饋,；

5,、雙重振動隔離：氣浮隔振，吸音隔振,。

性能特征

1,、高精度、高重復(fù)性

3D重建算法,、精密Z向掃描模塊和光學(xué)干涉技術(shù)組成的測量系統(tǒng),，以及能有效隔離2Hz以上頻率的隔振系統(tǒng)，保證了測量精度和測量重復(fù)性,。

2,、一體化操作的測量分析軟件

測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計，可視化窗口,，結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,，實現(xiàn)了快速批量測量的功能，自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成Z向聚焦、載物臺平移,、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

（1）軟件防撞保護ZSTOP

即在Z軸上設(shè)置停止位，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離,，當(dāng)鏡頭運動到該位置時,，就立刻停止不再向下運動，起到保護樣品和鏡頭的作用,。

（2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時，觸發(fā)感應(yīng)器,，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,，并觸發(fā)緊急停止開關(guān)，不再響應(yīng)向下位移的指令,，避免鏡頭和樣品的損傷,，雙重防護，守護設(shè)備和產(chǎn)品,，也守護每一分價值和信任,。

白光干涉三維輪廓儀chotest讓輪廓測量價格更為實惠，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,，操作簡便,，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數(shù),。適用于各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、孔隙間隙、彎曲變形情況,、腐蝕情況,、表面缺陷,、臺階高度,、波紋度、磨損情況,、面形輪廓,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，白光干涉儀具有的測量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應(yīng)變測量以及表面形貌測量,。

結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度,，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析，晶粒分析等,；

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖，輪廓線等,；

3,、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面,；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量,；

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1,、用于太陽能電池測量；

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測量,；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量,；

4,、用于機械部件的計量；

5,、用于塑料,，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。

部分技術(shù)指標(biāo)

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