中圖儀器VT6000系列激光共聚焦的顯微鏡在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比,，可以更精確量測物體高度,，建立3D立體影像。它以共聚焦技術(shù)為原理,，結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

(2)設(shè)備具備自動拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

(3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量，軟件自動統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能,；

(4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

性能特色

1,、高精度、高重復(fù)性

1）VT6000系列激光共聚焦的顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,，共同組成測量系統(tǒng),，保證儀器的高測量精度；

2）隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動噪聲,，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復(fù)性。

2,、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作,，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程,；

4）幾何分析,、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全；

5）一鍵分析,、多文件分析,，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù),。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

應(yīng)用范例：

部分技術(shù)指標(biāo)

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