中圖儀器VT6000系列激光共聚焦的顯微鏡在測量漸變較大的高度時，跟其他方法相比,，可以更精確量測物體高度,，建立3D立體影像。它以共聚焦技術為原理,，結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

產(chǎn)品功能

(1)設備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

(2)設備具備自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

(3)設備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能,，即可快速實現(xiàn)批量測量功能,；

(4)設備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

(5)設備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

(6)設備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

性能特色

1,、高精度、高重復性

1）VT6000系列激光共聚焦的顯微鏡以轉盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎，結合高穩(wěn)定性結構設計和3D重建算法,，共同組成測量系統(tǒng),，保證儀器的高測量精度；

2）隔震設計能夠消減底面振動噪聲,，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復性。

2,、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作,，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,，實現(xiàn)了快速批量測量的功能,；

2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程,；

3）結合自定義分析模板的自動化測量功能,，可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程；

4）幾何分析,、粗糙度分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,；

5）一鍵分析、多文件分析,，自由組合分析項保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D,、3D參數(shù)。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

除軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，保護儀器,，降低人為操作風險,。

應用領域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

應用范例：

部分技術指標

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