SuperViewW1國產(chǎn)白光干涉顯微鏡以白光干涉技術(shù)為原理,，結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,，用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量。

產(chǎn)品功能

(1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

(2)測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

(3)測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

(4)分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

(5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

(6)分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

SuperViewW1國產(chǎn)白光干涉顯微鏡用于精密零部件之重點部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

應(yīng)用行業(yè)

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

應(yīng)用范例

自動拼接功能特點

根據(jù)精度要求,，SuperViewW1白光干涉儀可將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法,，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進(jìn)行速度調(diào)節(jié),。

針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時滿足的高精度,、大掃描范圍的需求，SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法,，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下,，只需要確定起點和終點,，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙,。

需要測量不含凹面區(qū)域的表面輪廓和平整度時,，表面較為粗糙且定測量區(qū)域情況下,，可使用高速FVSI算法,，并在拼接測量設(shè)定時,，使用地圖導(dǎo)航功能，在掃描時即可自動跳過凹面區(qū)域完成其余整體形貌的拼接測量,。

SuperviewW1白光干涉儀自動拼接測量功能不管是在粗糙或是光滑,、異形或是平面結(jié)構(gòu)，當(dāng)要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時候,，可以根據(jù)不同表面特點進(jìn)行重建算法的切換,。