中圖儀器SJ6000激光干涉測量技術(shù)具有測量精度高,、量程大、速度快,、靈敏度高,、抗擾力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。在計(jì)量領(lǐng)域中可作為長度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具,。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度,、直線度,、垂直度,、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量,。在動態(tài)測量軟件配合下,，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

功能特點(diǎn)

1、精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對米進(jìn)行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

2,、功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等,；

（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

3、軟件強(qiáng)

（1）友好的人機(jī)界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文,、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時(shí)間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃,，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃,，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測量范圍：測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

中圖儀器SJ6000激光干涉測量技術(shù)自動采集數(shù)據(jù)，避免人為讀數(shù)誤差,，精度高,；測量過程全自動化，效率高,。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床,、激光打標(biāo)/切割、三坐標(biāo),、影像儀,、精密測量、自動化,、機(jī)器人,、3D打印等領(lǐng)域。

應(yīng)用場景