SuperViewW1光學(xué)形貌輪廓儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器，主要用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量,?？稍诎雽?dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中，測量各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn),。

工作原理

照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表面和參考鏡表面,。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像。由于兩束光相互干涉,，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋,。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度,。

產(chǎn)品功能

（1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

（2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

（3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

（4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

（5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

（6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

SuperViewW1光學(xué)形貌輪廓儀具有測量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細(xì)器件的過程用時2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

應(yīng)用范例：

除主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，具有的測量晶圓翹曲度功能，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量,，應(yīng)變測量以及表面形貌測量。它所具有技術(shù)競爭力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合,。通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性,。既可以用于科學(xué)研究,，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。結(jié)果組成：

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等,；

2,、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡,，格子圖，輪廓線等,；

3,、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面,；

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量,；

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

部分技術(shù)指標(biāo)

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