白光干涉儀以白光干涉技術(shù)原理，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。測量單個精細(xì)器件的過程用時短,，確保了高款率檢測。其特殊光源模式,，可以適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量,。

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量,。

部分技術(shù)指標(biāo)

性能特色

1、高精度,、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性,；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險,。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī)，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

SuperViewW1白光干涉儀檢測儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等,；以及自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,?？蓮V泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中。