激光干涉儀系統(tǒng)具有高精度,、高靈敏度、非接觸式測量等優(yōu)點(diǎn),，可實(shí)現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量?？勺鳛殚L度基準(zhǔn)以及設(shè)備校準(zhǔn)工具,。廣泛應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床、激光打標(biāo)/切割,、三坐標(biāo),、影像儀、精密測量,、自動化,、機(jī)器人、3D打印等領(lǐng)域,。

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，還可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補(bǔ)償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃,，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測量范圍：測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm

功能特點(diǎn)

精度高

SJ6000激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對米進(jìn)行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度、平行度,、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

傳感器線性精度測量

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)自動采集數(shù)據(jù),，避免人為讀數(shù)誤差，精度高,；使用高性能氦氖激光器,，結(jié)合伺服穩(wěn)頻控制系統(tǒng)，達(dá)到高精度穩(wěn)頻(0.05ppm),。