SJ6000激光干涉檢測儀集光、機(jī),、電,、計算機(jī)等技術(shù)于一體,，采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償,。儀器具有測量精度高,、測量范圍大、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點,，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實現(xiàn)線性測長,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度等幾何參量的高精度測量。

產(chǎn)品功能

（1）可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

（3）可實現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）SJ6000激光干涉檢測儀具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動分析,、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補償,。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組為線性鏡組,、角度鏡組,、直線度鏡組、垂直度鏡組,、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中,，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成,?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度,、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補償。

線性測量配置及使用方法

線性測量（線性軸位置精度測量的簡稱）配置主要由SJ6000主機(jī),、EC20環(huán)境補償單元,、線性鏡組、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成,，可滿足0~80m范圍內(nèi)的線性測量,。其中，線性測量包括定位精度測量,、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等,。

線性鏡組可以針對不同方向的運動軸而搭建相應(yīng)的測量光路，如下圖：

水平軸的線性測量示意圖

垂直軸的線性測量示意圖

SJ6000靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表,，該表涵蓋了各個測量點的補償值,，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差，精確的補償,，可以有效地降低運動軸的位置誤差,。

線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時間的目標(biāo)采集兩種方式，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,，即：被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點，當(dāng)運動軸移動到設(shè)定的定位點時,，需設(shè)置停留時間,，以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當(dāng)前點的數(shù)據(jù)采集。

線性測量應(yīng)用

SJ6000激光干涉儀廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo),、機(jī)器人,、3D打印設(shè)備、自動化設(shè)備,、線性位移平臺,、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域的線性測量,。

傳感器線性精度測量

在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下,，可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測,，以及進(jìn)行位移,、速度、加速度,、振幅與頻率的動態(tài)分析,，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,。

動態(tài)測量

動態(tài)測量概述

SJ6000動態(tài)測量軟件搭配線性鏡組、角度鏡組或直線度鏡組可以進(jìn)行相應(yīng)的線性,、角度或直線度的動態(tài)測量與性能檢測,。

動態(tài)測量包括基于時間的動態(tài)測量和基于距離的動態(tài)測量，SJ6000動態(tài)測量軟件可對動態(tài)測量數(shù)據(jù)進(jìn)行位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅與頻率分析等,。

位移-時間曲線

速度-時間曲線

加速度-時間曲線

振幅-頻率曲線

動態(tài)測量應(yīng)用

基于時間的動態(tài)測量

機(jī)器運動控制性能評價：

1.運動控制器PID控制參數(shù)測試與設(shè)置

2.高速運動后機(jī)器的穩(wěn)定性測試與評價

3.高性能運動控制器的微小步幅的測試

振動監(jiān)視

1.掃描應(yīng)用：用于定位精度不重要,，但恒速對實現(xiàn)高質(zhì)量成像非常關(guān)鍵的場合

2.機(jī)床應(yīng)用：典型應(yīng)用包括要求刀具慢速、平穩(wěn)輪廓運動的高質(zhì)量表面精加工

振動頻率分析

1.被測對象的振動頻率分析

2.FFT快速傅立葉變換分析

基于距離的動態(tài)測量

基于距離的動態(tài)測量,，SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)將沿著軸線“飛行"測量,，即運動軸在不停頓的情況下以用戶間隔進(jìn)行數(shù)據(jù)采集。

提供脈沖觸發(fā)方式采集

CT70正交觸發(fā)盒可監(jiān)控光柵,、編碼器,、控制器等信號，配合SJ6000激光干涉儀,，可實現(xiàn)脈沖觸發(fā)啟動采集和連續(xù)脈沖觸發(fā)采集,。適用于運動軸在不停頓的情況下，觸發(fā)激光干涉儀按照間隔位置進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,。

部分技術(shù)指標(biāo)

主機(jī)

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

動態(tài)采集頻率：50 kHz

預(yù)熱時間：≤ 6分鐘

工作溫度范圍：(0~40)℃

存儲溫度范圍：(-20~70)℃

環(huán)境濕度：(0~95)%RH

環(huán)境補償單元

空氣溫度傳感器：±0.1℃ (0~40)℃,，分辨力0.01℃

材料溫度傳感器：±0.1℃ (0~55)℃,，分辨力0.01℃

空氣濕度傳感器：±6%RH (0~95)%RH

大氣壓力傳感器：±0.1kPa (65~115)kPa

線性測量距離：(0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件)

角度測量范圍：測量范圍：±10°

平面度測量范圍：±1.5mm