SuperViewW1國產(chǎn)光學(xué)輪廓儀品牌是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器?？蓽y各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計(jì)300余種2D,、3D參數(shù)作為評價(jià)標(biāo)準(zhǔn)。

SuperViewW1國產(chǎn)光學(xué)輪廓儀品牌是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

部分技術(shù)指標(biāo)

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

結(jié)果組成：

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析,，晶粒分析等,；

2、二維圖像分析：距離,，半徑,，斜坡，格子圖,，輪廓線等,；

3、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面；

4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測量,；

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

應(yīng)用

在3C領(lǐng)域,，可以測量藍(lán)寶石屏、濾光片,、表殼等表面粗糙度,；

在半導(dǎo)體制造中，可測量減薄硅片粗糙度,、IC晶圓磨劃等,；

可用于超精密加工-摩擦學(xué)研究；

用于測量光學(xué)-透鏡類器件等,。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀測量精度高,、功能全面、操作便捷,、測量參數(shù)涵蓋面廣。其特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量,。