SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面輪廓儀可對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量，主要在半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中,，對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等。

部分技術(shù)指標(biāo)

性能特色

1,、高精度,、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性,；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。

4、雙重防撞保護(hù)措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí)，儀器自動進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，最大限度的保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn)。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。

自動拼接測量功能

SuperViewW1光學(xué)3D表面輪廓儀以白光干涉為原理的光學(xué)3D表面輪廓儀，能同時(shí)滿足無損,、超高分辨率,、耐高反等條件。針對完成樣品超光滑凹面弧形掃描所需同時(shí)滿足的高精度,、大掃描范圍的需求,，SuperView W1的復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小,、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn),。在自動拼接模塊下，只需要確定起點(diǎn)和終點(diǎn),，即可自動掃描,，重建其超光滑的表面區(qū)域，不見一絲重疊縫隙,。

旋轉(zhuǎn)拋物面零件,，微小位移和角度檢測

復(fù)合型EPSI重建算法

手機(jī)插卡槽處的金屬薄片模塊需要測量不含凹面區(qū)域的表面輪廓和平整度，因其表面較為粗糙且定測量區(qū)域,，可使用高速FVSI算法,，并在拼接測量設(shè)定時(shí)，使用地圖導(dǎo)航功能,，在掃描時(shí)即可自動跳過凹面區(qū)域完成其余整體形貌的拼接測量,。

金屬薄片模塊

高速FVSI算法

SuperViewW1白光干涉光學(xué)3D表面輪廓儀不管是在粗糙或是光滑、異形或是平面結(jié)構(gòu),，當(dāng)要測量超出適配鏡頭下的單視場區(qū)域的時(shí)候,，可以根據(jù)不同表面特點(diǎn)進(jìn)行重建算法的切換。