會(huì)員.png)
5
當(dāng)前位置：深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測(cè)量?jī)x>>共聚焦顯微鏡>> VT6100轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)顯微鏡
中圖儀器VT6000系列轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等，能測(cè)各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等參數(shù)。它以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，能高精度測(cè)量和分析各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征,。
技術(shù)指標(biāo)
| 型號(hào) | VT6100 | |
行程范圍 | X | 100mm |
| Y | 100mm | |
| Z | 100mm | |
| 外形尺寸 | 520*380*600mm | |
| 儀器重量 | 50kg | |
| 測(cè)量原理 | 共聚焦光學(xué)系統(tǒng) | |
| 顯微物鏡 | 10×;20×;50×;100× | |
| 視場(chǎng)范圍 | 120×120 μm~1.2×1.2 mm | |
高度測(cè)量 | 重復(fù)性(1σ) | 12nm |
| 精度 | ± (0.2+L/100) μm | |
| 顯示分辨率 | 0.5nm | |
寬度測(cè)量 | 重復(fù)性(1σ) | 40nm |
| 精度 | ± 2% | |
| 顯示分辨率 | 1nm | |
| XY位移平臺(tái) | 負(fù)載 | 10kg |
| 控制方式 | 電動(dòng) | |
| Z0軸掃描范圍 | 10mm | |
| 物鏡塔臺(tái) | 5孔電動(dòng) | |
| 光源 | 白光LED | |
可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),，對(duì)大坡度的產(chǎn)品有更好的成像效果，在滿足精度的情況下使用場(chǎng)景更具有兼容性,。
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能,；
2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量,；
3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能,；
4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；
5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；
6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；
性能特色
1,、高精度,、高重復(fù)性
1）以轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法,，共同組成測(cè)量系統(tǒng),，保證儀器的高測(cè)量精度；
2）隔震設(shè)計(jì)能夠消減底面振動(dòng)噪聲,，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測(cè)量重復(fù)性。
2,、一體化操作的測(cè)量分析軟件
1）測(cè)量與分析同界面操作,，無(wú)須切換，測(cè)量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了快速批量測(cè)量的功能,；
2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過(guò)程,；
3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測(cè)量功能,，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測(cè)量與分析過(guò)程；
4）幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,；
5）一鍵分析、多文件分析,，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析,，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能；
6）可測(cè)依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù),。
3、精密操縱手柄
集成X,、Y,、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦等測(cè)量前工作。
4,、雙重防撞保護(hù)措施
除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外,，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài),，保護(hù)儀器，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。
VT6000系列轉(zhuǎn)盤(pán)共聚焦光學(xué)顯微鏡擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè),，能夠清晰地展示微小物體的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)，顯示出精細(xì)的細(xì)節(jié)圖像,，以提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察,。它具有直觀測(cè)量的特點(diǎn)，能夠有效提高工作效率,，更加快捷準(zhǔn)確地完成日常任務(wù),。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率,，實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的操作,。
