中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學干涉原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,，非接觸測量樣品表面形貌,，廣泛應用于光學，半導體,，材料,，精密機械等等領域，用于表面形貌紋理,，微觀結構分析,。測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

產(chǎn)品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

性能參數(shù)

性能特色

1,、高精度,、高重復性

1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復性,；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾,，在設備調(diào)試,、日常監(jiān)測、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐,。

3,、精密操縱手柄

集成X、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止狀態(tài)，最大限度的保護儀器,，降低人為操作風險,。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

白光干涉儀采用的光學非接觸式測量方法，以及具有的測量精度高,、使用方便,、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點,，加上其光源模式,，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。中圖白光干涉儀分辨率0.1μm,，重復性0.1%,，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案,。比如透明的玻璃表面,，加上增透膜，其反射率小于1%,；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面,。