中圖白光干涉儀SuperViewW1利用光學(xué)干涉原理,，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,，非接觸測量樣品表面形貌，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體,，材料,，精密機械等等領(lǐng)域，用于表面形貌紋理,，微觀結(jié)構(gòu)分析,。測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

性能參數(shù)

性能特色

1、高精度,、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù),、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)，保證測量精度高,；

2）隔振系統(tǒng),，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用,，獲得高測量重復(fù)性；

2,、環(huán)境噪聲檢測功能

具備0.1nm分辨率的環(huán)境噪聲檢測模塊,，能夠定量評估出外界環(huán)境對儀器掃描軸的震動干擾，在設(shè)備調(diào)試,、日常監(jiān)測,、故障排查中能夠提供定量的環(huán)境噪聲數(shù)據(jù)作為支撐。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護措施

在初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,，另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時,，儀器自動進入緊急停止狀態(tài),，最大限度的保護儀器，降低人為操作風(fēng)險,。

5,、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

白光干涉儀采用的光學(xué)非接觸式測量方法,，以及具有的測量精度高、使用方便,、分析功能強大,、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，加上其光源模式,，保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。中圖白光干涉儀分辨率0.1μm,，重復(fù)性0.1%,，可為樣品表面測量提供快速，便捷的非接觸式3D表面形貌測量解決方案,。比如透明的玻璃表面，加上增透膜,，其反射率小于1%,；也可以用于測試直至100%反射率的各類高反表面。