VT6000系列激光共聚焦3D圖像顯微鏡具有優(yōu)異的光學(xué)分辨率,，通過清晰的成像系統(tǒng)能夠細致觀察到晶圓表面的特征情況，例如：觀察晶圓表面是否出現(xiàn)崩邊,、刮痕等缺陷,。電動塔臺可以自動切換不同的物鏡倍率，軟件自動捕捉特征邊緣進行二維尺寸快速測量,，從而更加有效的對晶圓表面進行檢測和質(zhì)量控制,。此外還可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)設(shè)備具備自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,，即可快速實現(xiàn)批量測量功能,；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能；

技術(shù)指標

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

自設(shè)計之初,，VT6000激光共聚焦3D圖像顯微鏡便定下了“簡單好用"四字方針的目標。

1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機和電腦構(gòu)成,，控制單元集成在設(shè)備主機之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動，實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計,；

2）真彩圖像：配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,，對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn)；

3）操作便捷：采用全電動化設(shè)計,，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果,；

4）采用自研的電動鼻輪塔臺,，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進行了優(yōu)化，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對,。