共聚焦顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù),，它通過數(shù)碼相機針孔的高強度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強的縱向深度的分辨能力,。在材料生產(chǎn)領(lǐng)域中,，共聚焦顯微鏡工業(yè)測量儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)設(shè)備具備自動拼接功能，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,，即可快速實現(xiàn)批量測量功能,；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置、糾正,、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

技術(shù)指標

應(yīng)用領(lǐng)域

共聚焦顯微鏡工業(yè)測量儀對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

共焦顯微鏡系統(tǒng)所展現(xiàn)的放大圖像細節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡,。傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡上常配備靈敏度較低的CCD相機來采集圖像，對于低照度的光,，如熒光無法探測到,，而共聚焦顯微鏡系統(tǒng)使用的探測元件是高靈敏度的光電倍增管，對微弱的熒光信號可以呈現(xiàn)出很高的靈敏度,，并且還可以通過縮小激發(fā)范圍并使用光學(xué)切片來消除背景噪聲,。

在相同物鏡放大的條件下,，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細節(jié)更清晰更微細，橫向分辨率更高,。

應(yīng)用范例