中圖儀器SuperViewW1白光干涉測厚儀是以白光干涉技術(shù)原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器,，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量,。

SuperViewW1白光干涉測厚儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標準,。

性能參數(shù)

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度,，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析，晶粒分析等,；

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖，輪廓線等,；

3,、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面,；

4、薄膜和厚膜的臺階高度測量,；

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

SuperViewW1白光干涉儀具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi)，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。