激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對米進(jìn)行定義,。它采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償,；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì)，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠,。

中圖儀器SJ6000激光干涉儀光學(xué)測量儀集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時,；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),，可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度,，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,，可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償,；采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文,、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀光學(xué)測量儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,，依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。

▲主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配,，由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成?？蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。

技術(shù)規(guī)格

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

測量軟件

（1）友好的人機(jī)界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文,、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。

產(chǎn)品應(yīng)用

對機(jī)床精度再校準(zhǔn)

三坐標(biāo)測量機(jī)示值誤差測量

導(dǎo)軌直線度檢測

光刻機(jī)X軸Pitch測量

導(dǎo)軌直線度檢測