當(dāng)前位置:深圳市中圖儀器股份有限公司>>激光測量儀>>激光干涉儀>> SJ6000激光干涉儀光學(xué)測量儀
激光干涉儀以干涉技術(shù)為核心,,其光波可直接對米進(jìn)行定義,。它采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償,;干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),避免干涉鏡受熱影響,,保證干涉光路穩(wěn)定可靠,。
中圖儀器SJ6000激光干涉儀光學(xué)測量儀集光、機(jī),、電,、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,其壽命可達(dá)50000小時,;采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),,可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng),、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,;采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù),,可實(shí)現(xiàn)高4m/s的測量速度,,以及納米級的分辨率;采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊,,可實(shí)現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償,;采用高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù),支持中文,、英文和俄文語言,友好的人機(jī)界面,、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?/p>
產(chǎn)品配置
SJ6000激光干涉儀光學(xué)測量儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件,可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件,。主要鏡組如下圖所列,,依次為線性鏡組、角度鏡組,、直線度鏡組,、垂直度鏡組、平面度鏡組,、自動精密轉(zhuǎn)臺,。
▲主要鏡組圖
其中,線性鏡組為標(biāo)配,,由線性干涉鏡,、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成??蓾M足線性位移設(shè)備的定位精度,、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析,,以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償,。
技術(shù)規(guī)格
穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
動態(tài)采集頻率 | 50 kHz |
預(yù)熱時間 | ≤ 6分鐘 |
工作溫度范圍 | (0~40)℃ |
存儲溫度范圍 | (-20~70)℃ |
環(huán)境濕度 | (0~95)%RH |
線性測量距離 | (0~80)m (無需遠(yuǎn)距離線性附件) |
線性測量精度 | 0.5ppm (0~40)℃ |
角度軸向量程 | (0~15)m |
角度測量精度 | ±(0.02%R+0.1+0.024M)″ |
平面度軸向量程 | (0~15)m |
平面度測量精度 | ±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm,;M為測量距離,,單位:m) |
直線度軸向量程 | 短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m |
直線度測量精度 | 短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm |
垂直度軸向量程 | 短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m |
垂直度測量精度 | 短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m |
產(chǎn)品功能
(1)可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,;
(2)可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,,以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等;
(3)可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),;
(4)可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表,,為設(shè)備誤差修正提供依據(jù);
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,,包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,,可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,;
(6)支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。
測量軟件
(1)友好的人機(jī)界面,;
(2)豐富的應(yīng)用功能模塊,;
(3)向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>
(4)簡潔化的記錄管理;
(5)支持中文,、英文和俄文界面,;
(6)支持企業(yè)專屬模板定制。
產(chǎn)品應(yīng)用
對機(jī)床精度再校準(zhǔn)
三坐標(biāo)測量機(jī)示值誤差測量
導(dǎo)軌直線度檢測
光刻機(jī)X軸Pitch測量