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當前位置：深圳市中圖儀器股份有限公司>>顯微測量儀>>白光干涉儀>> SuperViewW1Chotest白光干涉儀
白光干涉儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器,，具有測量精度高、操作便捷,、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內(nèi),，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量,。
中圖儀器Chotest白光干涉儀SuperViewW1可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,，測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。
技術(shù)指標
| 型號 | W1 | |
| 光源 | 白光LED | |
| 影像系統(tǒng) | 1024×1024 | |
| 干涉物鏡 | 標配:10× 選配:2.5×、5×,、20×,、50×、100× | |
| 光學(xué)ZOOM | 標配:0.5× 選配:0.375×,、0.75×,、1× | |
| 標準視場 | 0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學(xué)ZOOM 0.5×） | |
XY位移平臺 | 尺寸 | 320×200㎜ |
| 移動范圍 | 140×100㎜ | |
| 負載 | 10kg | |
| 控制方式 | 電動 | |
| Z軸聚焦 | 行程 | 100㎜ |
| 控制方式 | 電動 | |
| 形貌重復(fù)性 | 0.1nm | |
| 粗糙度RMS重復(fù)性 | 0.005nm | |
| 臺階測量 | 準確度:0.3%;重復(fù)性:0.08%(1σ) | |
| 可測樣品反射率 | 0.05%~100% | |
| 主機尺寸 | 700×606×920㎜ | |
產(chǎn)品功能
1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；
2）測量中提供自動對焦、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；
3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能,；
4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；
5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；
6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。
應(yīng)用領(lǐng)域
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。
應(yīng)用范例：
中圖儀器Chotest白光干涉儀既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作；集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作。
