白光干涉儀是利用光學干涉原理研制開發(fā)的超精細表面輪廓測量儀器,，具有測量精度高,、操作便捷、功能齊全,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測,。白光干涉儀的特殊光源模式,，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

中圖儀器Chotest白光干涉儀SuperViewW1可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中,，測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。

技術指標

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用領域

對各種產品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

應用范例：

中圖儀器Chotest白光干涉儀既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作；集成X,、Y,、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作,。