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SuperViewW1光學(xué)輪廓儀品牌是一款以白光干涉技術(shù)為原理,用于對(duì)各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級(jí)非接觸測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器,。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料及制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,,測(cè)各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,。
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能;
2)測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,;
3)測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能;
4)分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;
5)分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能;
6)分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。
結(jié)果組成:
1,、三維表面結(jié)構(gòu):粗糙度,波紋度,,表面結(jié)構(gòu),,缺陷分析,晶粒分析等,;
2,、二維圖像分析:距離,,半徑,,斜坡,格子圖,,輪廓線等,;
3、表界面測(cè)量:透明表面形貌,,薄膜厚度,,透明薄膜下的表面;
4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量,;
5,、劃痕形貌,摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量;
6,、微電子表面分析和MEMS表征,。
主要應(yīng)用領(lǐng)域:
1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量,;
2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量,;
3、用于鍍膜玻璃的平整度(Flatness)測(cè)量,;
4,、用于機(jī)械部件的計(jì)量;
5,、用于塑料,,金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。
晶圓IC減薄后的粗糙度檢測(cè)
超精密加工
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀品牌具有測(cè)量精度高,、操作便捷,、功能齊全,、測(cè)量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點(diǎn),,測(cè)量單個(gè)精細(xì)器件的過(guò)程用時(shí)2分鐘以內(nèi),確保了高款率檢測(cè),。白光干涉儀的特殊光源模式,,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測(cè)量。