中圖儀器VT6000高分辨率激光共聚焦顯微鏡以共聚焦顯微測量技術(shù)為原理,，主要測量表面物理形貌,，進行微納米尺度的三維形貌分析，如3D表面形貌,、2D的縱深形貌,、輪廓（縱深、寬度,、曲率,、角度）、表面粗糙度等,。

VT6000高分辨率激光共聚焦顯微鏡可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工,、微納材料制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中,?？蓽y各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。

如在汽車檢測中的應(yīng)用，共聚焦顯微鏡結(jié)合CCD的影像攝取,，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞,，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式,，可在短時間(約幾秒)內(nèi)精確量測物體的三維數(shù)據(jù),。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面,，不需要在真空環(huán)境下測量,，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴酷的工作環(huán)境下,，也能正常使用,。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時,，跟其他方法相比，可以更精確量測物體高度,，建立3D立體影像,，優(yōu)勢相當(dāng)明顯。

技術(shù)指標

型號：VT6100

行程范圍：100*100*100mm

視場范圍：120×120 μm~1.2×1.2 mm

高度測量重復(fù)性(1σ)：12nm

高度測量精度：± (0.2+L/100) μm

高度測量分辨率：0.5nm

寬度測量重復(fù)性(1σ)：40nm

寬度測量精度：± 2%

寬度測量分辨率：1nm

外形尺寸：520×380×600mm

儀器重量：50kg

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能,；

2)設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量；

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能,；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。