共聚焦顯微鏡主要用于測量表面物理形貌,，進行微納米尺度的三維形貌分析,，如3D表面形貌、2D的縱深形貌,、輪廓（縱深,、寬度、曲率,、角度）,、表面粗糙度等。VT6000激光共聚焦光學(xué)顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量,，是一款用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的光學(xué)檢測儀器,。

測量領(lǐng)域

可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度、波紋度,、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；

2)設(shè)備具備自動拼接功能,，能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,；

3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能,，即可快速實現(xiàn)批量測量功能；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

性能特色

1、高精度,、高重復(fù)性

1）以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng),，保證儀器的高測量精度,；

2）隔震設(shè)計能夠消減底面振動噪聲，儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,，具有良好的測量重復(fù)性,。

2、精密操縱手柄

集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦等測量前工作,。

3、雙重防撞保護措施

除軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進行防撞保護外,，VT6000激光共聚焦光學(xué)顯微鏡另在Z軸上設(shè)計有機械電子傳感器,，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態(tài),，保護儀器,，降低人為操作風(fēng)險,。