SuperViewW1光學(xué)粗糙度測(cè)量?jī)x以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)。

結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析,，晶粒分析等,；

2、二維圖像分析：距離,，半徑,，斜坡，格子圖,，輪廓線等,；

3、表界面測(cè)量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面；

4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量,；

5、劃痕形貌,，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量；

6,、微電子表面分析和MEMS表征,。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm

表面形貌重復(fù)性：0.1nm

臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性：0.1% 1σ；準(zhǔn)確度：0.75%

SuperViewW1光學(xué)粗糙度測(cè)量?jī)x在材料科學(xué)研究,，新型材料制備等方面有著廣泛應(yīng)用,，比如測(cè)量材料基體和鍍膜后表面形貌和粗糙度，測(cè)量材料的磨損性能（通過(guò)白光干涉儀測(cè)量磨損輪廓和粗糙度）,。在MEMS測(cè)試項(xiàng)目中,，表面特性（粗糙度、臺(tái)階高）是一個(gè)非常重要的項(xiàng)目,，目前主要是采用非接觸式的光學(xué)3D輪廓儀(白光干涉儀）進(jìn)行測(cè)量,。

在3C領(lǐng)域，可以測(cè)量藍(lán)寶石屏,、濾光片,、表殼等表面粗糙度；

在LED行業(yè),，可以測(cè)量藍(lán)寶石,、碳化硅襯底表面粗糙度；

在光纖通信行業(yè),，可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度,；

在集成電路行業(yè)，可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；

在EMES行業(yè),，可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度,；

在軍事領(lǐng)域，可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度,。

SuperViewW1可對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。