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中圖儀器VT6000國產(chǎn)共聚焦顯微鏡品牌主要由四部分組成:1,、顯微鏡光學(xué)系統(tǒng)。2,、掃描裝置,。3、激光光源,。4,、檢測系統(tǒng)。整套儀器由計(jì)算機(jī)控制,,各部件之間的操作切換都可在計(jì)算機(jī)操作平臺(tái)界面中方便靈活地進(jìn)行,。
與傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡相比,VT6000共聚焦顯微鏡具有更高的分辨率,。擅長微納級(jí)粗糙輪廓的檢測,,所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等工業(yè)材料領(lǐng)域中,,測各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度、微觀幾何輪廓,、曲率等,。
產(chǎn)品功能
1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能;
2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,,能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測量,;
3)設(shè)備具備一體化操作的測量與分析軟件,預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,,軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,,即可快速實(shí)現(xiàn)批量測量功能;
4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,;
5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能;
6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,,可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,;
應(yīng)用領(lǐng)域
對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。
VT6000國產(chǎn)共聚焦顯微鏡品牌主要測量表面物理形貌,,進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,如3D表面形貌,、2D的縱深形貌,、輪廓(縱深、寬度,、曲率,、角度)、表面粗糙度等,。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1)結(jié)構(gòu)簡單:儀器整體由一臺(tái)輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成,,控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動(dòng),,真正實(shí)現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計(jì),;
2)真彩圖像:配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像,對(duì)細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),;
3)操作便捷:采用全電動(dòng)化設(shè)計(jì),,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計(jì)風(fēng)格,,實(shí)現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果,;
4)安全無憂:采用自研的電動(dòng)鼻輪塔臺(tái),并對(duì)軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化,,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時(shí)也能應(yīng)對(duì),。