共聚焦顯微鏡能測(cè)量表面物理形貌，進(jìn)行微納米尺度的三維形貌分析,，如3D表面形貌,、2D的縱深形貌、輪廓（縱深,、寬度,、曲率、角度）,、表面粗糙度等,。VT6000激光共聚焦顯微鏡檢測(cè)設(shè)備以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量,。

VT6000激光共聚焦顯微鏡

產(chǎn)品功能

1)設(shè)備具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測(cè)量功能；

2)設(shè)備具備自動(dòng)拼接功能,，能夠快速實(shí)現(xiàn)大區(qū)域的拼接縫合測(cè)量,；

3)設(shè)備具備一體化操作的測(cè)量與分析軟件，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測(cè)量,，軟件自動(dòng)統(tǒng)計(jì)測(cè)量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報(bào)表導(dǎo)出功能,，即可快速實(shí)現(xiàn)批量測(cè)量功能；

4)設(shè)備具備調(diào)整位置,、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5)設(shè)備具備粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6)設(shè)備具備一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，可實(shí)現(xiàn)批量數(shù)據(jù)文件的快速分析功能,；

應(yīng)用

應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工,、微納材料制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類包括從光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等,，對(duì)各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺(tái)階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析,。

太陽(yáng)能電池應(yīng)用

VT6000激光共聚焦顯微鏡檢測(cè)設(shè)備的測(cè)量方式是非接觸式,，不會(huì)破壞樣品的表面，不需要在真空環(huán)境下測(cè)量,，也可以用顯微鏡測(cè)量的功能來(lái)觀測(cè)樣本,，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下，也能正常使用,。由于使用了共聚焦的方法,，在測(cè)量漸變較大的高度時(shí)，跟其他方法相比,，可以更準(zhǔn)確量測(cè)物體高度,，建立3D立體影像。