中圖儀器VT6000系列光學共聚焦掃描顯微鏡提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能，還提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能：

粗糙度分析包括依據(jù)標準的ISO4287的線粗糙度,、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,；

幾何輪廓分析包括臺階高,、距離、角度,、曲率等特征測量和直線度,、圓度形位公差評定等功能；

結構分析包括孔洞體積和波谷深度等,；

頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,；

功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能,。

以共聚焦技術為原理的VT6000光學共聚焦掃描顯微鏡,，是用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量的檢測儀器,。儀器基于共聚焦顯微技術,，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等,，可以對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。在材料生產檢測領域中能對各種產品,、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、平面度、粗糙度,、波紋度,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工、微納材料制造,、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中,。

產品功能

1) 設備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能；

2)一體化操作的測量與分析軟件,，操作無須進行切換界面,，預先設置好配置參數(shù)再進行測量，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能,，即可快速實現(xiàn)批量測量功能,。

3)提供調整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,。其中調整位置包括圖像校平,、鏡像等功能,；糾正包括空間濾波,、修描,、尖峰去噪等功能,；濾波包括去除外形、標準濾波,、過濾頻譜等功能,；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能,。

4) 提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結構分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，設置分析模板,，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能,。