SuperViewW1三維光學(xué)輪廓粗糙度儀能夠以優(yōu)于納米級的分辨率,，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),。它以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體,，材料,，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動(dòng)對焦,、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1、用于太陽能電池測量,；

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測量；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量,；

4、用于機(jī)械部件的計(jì)量,；

5,、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量,。

結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度,，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析，晶粒分析等,；

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖，輪廓線等,；

3,、表界面測量：透明表面形貌，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面,；

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測量,；

5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量；

6,、微電子表面分析和MEMS表征,。

SuperViewW1三維光學(xué)輪廓粗糙度儀是目前三維形貌測量領(lǐng)域高精度的檢測儀器之一。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,。對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),，可以得到理想的測量結(jié)果。

《共聚焦顯微鏡和白光干涉儀區(qū)別》