中圖儀器VT6000共聚焦激光掃描顯微鏡主要采用3D捕獲的成像技術(shù),，通過數(shù)碼相機(jī)針孔的高強(qiáng)度激光來實現(xiàn)數(shù)字成像，具有很強(qiáng)的縱向深度的分辨能力,；以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ),，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計和3D重建算法，共同組成測量系統(tǒng),。

產(chǎn)品功能

1) 設(shè)備提供表征微觀形貌的輪廓尺寸測量功能；

2)一體化操作的測量與分析軟件,，操作無須進(jìn)行切換界面，預(yù)先設(shè)置好配置參數(shù)再進(jìn)行測量,，軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導(dǎo)出功能，即可快速實現(xiàn)批量測量功能,。

3)提供調(diào)整位置、糾正,、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,。其中調(diào)整位置包括圖像校平,、鏡像等功能,；糾正包括空間濾波,、修描,、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形,、標(biāo)準(zhǔn)濾波,、過濾頻譜等功能,；提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

4) 提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,。其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標(biāo)準(zhǔn)的ISO4287的線粗糙度,、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,；幾何輪廓分析包括臺階高,、距離,、角度,、曲率等特征測量和直線度,、圓度形位公差評定等功能,；結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能,；功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

5) 提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,，設(shè)置分析模板,，結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,，可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能,。

在相同物鏡放大的條件下，共焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì),。白光擅長亞納米級超光滑表面的檢測,，追求檢測數(shù)值的精準(zhǔn)；而共聚焦擅長微納級粗糙輪廓的檢測,，所展現(xiàn)的放大圖像細(xì)節(jié)要高于常規(guī)的光學(xué)顯微鏡,。VT6000共聚焦激光掃描顯微鏡能測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),，對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況、平面度,、粗糙度,、波紋度、孔隙間隙,、臺階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。

性能特點

1）結(jié)構(gòu)簡單：儀器整體由一臺輕量化的設(shè)備主機(jī)和電腦構(gòu)成，控制單元集成在設(shè)備主機(jī)之內(nèi),，亦可采用筆記本電腦驅(qū)動，實現(xiàn)了“拎著走"的便攜式設(shè)計,；

2）真彩圖像：配備了真彩相機(jī)并提供還原的3D真彩圖像，對細(xì)節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn),；

3）操作便捷：采用全電動化設(shè)計,，并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換，圖像視窗和分析視窗同界面的設(shè)計風(fēng)格,，實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果,；

4）安全無憂：采用自研的電動鼻輪塔臺,，并對軟件防撞設(shè)置與硬件傳感器防撞設(shè)置功能進(jìn)行了優(yōu)化,，確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應(yīng)對。