中圖儀器NS200國產(chǎn)臺階儀采用接觸式表面形貌測量，對測量表面反光特性,、材料種類,、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應(yīng)面廣,，數(shù)據(jù)復(fù)現(xiàn)性高,、測量穩(wěn)定、便捷,、高效,，是微觀表面測量中使用廣泛的微納樣品測量手段。

在半導(dǎo)體,、光伏,、LED、MEMS器件,、材料等領(lǐng)域,，表面臺階高度,、膜厚的準(zhǔn)確測量具有十分重要的價(jià)值，尤其是臺階高度是一個(gè)重要的參數(shù),，對各種薄膜臺階參數(shù)的精確,、快速測定和控制，是保證材料質(zhì)量,、提高生產(chǎn)效率的重要手段,。NS200國產(chǎn)臺階儀采用亞埃級分辨率的位移傳感器、超低噪聲信號采集,、超精細(xì)的運(yùn)動(dòng)控制,、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，具有優(yōu)良的使用性能,。用于樣品表面從微米到納米尺度的輪廓測量,，可以進(jìn)行臺階高度、膜厚和薄膜高度,、表面形貌,、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

產(chǎn)品功能

1,、臺階高度

能夠測量幾個(gè)納米到330μm的臺階高度,。這使其可以準(zhǔn)確測量在蝕刻、濺射,、SIMS,、沉積、旋涂,、CMP等工藝期間沉積或去除的材料,。

2、紋理：粗糙度和波紋度

測量2D紋理,，量化樣品的粗糙度和波紋度,。軟件過濾功能將測量值分離為粗糙度和波紋度的部分，并計(jì)算諸如均方根（RMS）粗糙度等20余項(xiàng)粗糙度參數(shù),。

3,、形狀：翹曲和形狀

可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,，例如在半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過程中,，多層沉積層結(jié)構(gòu)中層間不匹配是導(dǎo)致這類翹曲產(chǎn)生的原因。還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑,。

4,、應(yīng)力：薄膜應(yīng)力

能夠測量在生產(chǎn)中包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤樣品支撐在中性位置精確測量樣品翹曲。然后通過應(yīng)用Stoney方程,，利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力,。

5、接觸缺陷復(fù)檢：缺陷表面形貌

技術(shù)參數(shù)

技術(shù)測量：探針式表面輪廓測量技術(shù)

樣品觀測：光學(xué)導(dǎo)航攝像頭：500萬像素高分辨率 彩色攝像機(jī),，F(xiàn)oV,，1700*1400μm

平臺移動(dòng)范圍X/Y：電動(dòng)X/Y（100mm*100mm）（可手動(dòng)校平）

最大樣品厚度：50mm

載物臺最大晶圓尺寸：150mm（6吋），200mm（8吋）

臺階高度重復(fù)性：＜1nm（測量1μm臺階高度,，1δ）

垂直分辨力：分辨力＜0.25 ?（量程為13um時(shí)）

儀器尺寸: 640*626*534(mm)

儀器總重量：<50kg

典型應(yīng)用