SuperViewW1三維白光光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x測(cè)量結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析,，晶粒分析等；

2,、二維圖像分析：距離,，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；

3,、表界面測(cè)量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面,；

4,、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量；

5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量,；

6,、微電子表面分析和MEMS表征。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,，測(cè)試各類表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體,，材料,，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,。除主要用于測(cè)量表面形貌或測(cè)量表面輪廓外,，SuperViewW1三維白光光學(xué)輪廓測(cè)量?jī)x具有的測(cè)量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓，太陽(yáng)能電池和玻璃面板的翹曲度測(cè)量,，應(yīng)變測(cè)量以及表面形貌測(cè)量,。它所具有技術(shù)競(jìng)爭(zhēng)力在于接觸式和光學(xué)三維輪廓儀的結(jié)合。通過(guò)利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)獲得獲得全面的表面特性,。既可以用于科學(xué)研究,，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè)。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1,、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量,；

2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量,；

3,、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測(cè)量；

4,、用于機(jī)械部件的計(jì)量,；

5、用于塑料,，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量,。