SJ6000工業(yè)激光干涉儀具有測量精度高,、測量速度快、高測速下分辨率高,、測量范圍大等優(yōu)點,。測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″,，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″,。主要特點是小巧便攜、功能強,、無線操作,。

SJ6000工業(yè)激光干涉儀的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補償表，該表涵蓋了各個測量點的補償值,，運動控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運動軸的補償值來消除該運動軸的位置誤差,，精確的補償，可以有效地降低運動軸的位置誤差,。線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時間的目標(biāo)采集兩種方式,，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式,，即：被測運動軸需設(shè)定若干個等距的定位點，當(dāng)運動軸移動到設(shè)定的定位點時,，需設(shè)置停留時間,，以供SJ6000測量軟件進行當(dāng)前點的數(shù)據(jù)采集。

功能廣

（1）可實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機床、三坐標(biāo)測量機等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

（3）可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析,、速度分析、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動或自動進行環(huán)境補償。

測量軟件

（1）友好的人機界面,；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理；

（5）支持中文,、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制。