SJ6000工業(yè)激光干涉儀具有測量精度高,、測量速度快、高測速下分辨率高,、測量范圍大等優(yōu)點(diǎn),。測量分辨率0.01″，系統(tǒng)測量精度為±1″,，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″,。主要特點(diǎn)是小巧便攜、功能強(qiáng),、無線操作,。

SJ6000工業(yè)激光干涉儀的靜態(tài)測量軟件可以將線性測量結(jié)果生成誤差補(bǔ)償表，該表涵蓋了各個(gè)測量點(diǎn)的補(bǔ)償值,，運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)制造商允許通過修改運(yùn)動(dòng)軸的補(bǔ)償值來消除該運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,，精確的補(bǔ)償，可以有效地降低運(yùn)動(dòng)軸的位置誤差,。線性測量中目標(biāo)位置的數(shù)據(jù)采集有基于位置的目標(biāo)采集和基于時(shí)間的目標(biāo)采集兩種方式,，普遍采用基于位置的目標(biāo)采集方式，即：被測運(yùn)動(dòng)軸需設(shè)定若干個(gè)等距的定位點(diǎn),，當(dāng)運(yùn)動(dòng)軸移動(dòng)到設(shè)定的定位點(diǎn)時(shí),，需設(shè)置停留時(shí)間，以供SJ6000測量軟件進(jìn)行當(dāng)前點(diǎn)的數(shù)據(jù)采集,。

功能廣

（1）可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

（3）可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

（5）具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

（6）支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

測量軟件

（1）友好的人機(jī)界面；

（2）豐富的應(yīng)用功能模塊,；

（3）向?qū)降牟僮髁鞒蹋?/p>

（4）簡潔化的記錄管理,；

（5）支持中文、英文和俄文界面,；

（6）支持企業(yè)專屬模板定制,。