SJ6000激光干涉儀測量設(shè)備測量精度高,、速度快,，穩(wěn)定性好，配合有環(huán)境補償單元,，在環(huán)境變化的情況下,，也可以得到較高的測量精度；應(yīng)用范圍廣,，可以實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平面度等幾何量的檢測，結(jié)合軟件系統(tǒng),，也可以用于速度,，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析,，實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),，進行動態(tài)特性分析；軟件界面友好,，向?qū)讲僮?，流程清晰，更符合國?nèi)用戶的使用習(xí)慣,。

SJ6000激光干涉儀測量設(shè)備以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),，可實現(xiàn)高精度,、抗干擾能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補償模塊,，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設(shè)計，避免干涉鏡受熱影響,，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。

系統(tǒng)組件

1,、激光主機

精準(zhǔn)——激光頻率穩(wěn)定度高,，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。

SJ6800激光主機由DC12V電源適配器供電,，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作,。

支持USB通信接口，可與計算機高速通信,，兼容USB3.0接口和USB2.0接口,。

配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號輸入和正交信號輸出,，以及其它擴展應(yīng)用,。

2、EC20環(huán)境補償單元

可靠——對空氣溫度,、濕度,、氣壓和材料溫度進行自動環(huán)境補償。

激光干涉儀是以激光波長為載體,，測量過程中環(huán)境條件（空氣溫度,、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長,。

EC20環(huán)境補償單元可實時檢測環(huán)境條件的變化,，同事進行激光波長補償。

EC20環(huán)境補償單元可連接三個材料溫度探頭,，監(jiān)測被測對象其材料的溫度變化,，同事進行材料的熱膨脹補償。

EC20環(huán)境補償單元采用低功耗設(shè)計,，無需額外的供電電源,，其工作電源集成于USB接口。

為了方便現(xiàn)場使用,，EC20環(huán)境補償單元配備磁性掛板,，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長5m，亦可定制線長,。

3,、三腳架及便攜箱

其他組件

1、光學(xué)鏡組

（1）線性鏡組

應(yīng)用于機器軸的定位精度測量,、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等,；也可用于機器軸的動態(tài)測量分析。

（2）角度鏡組

應(yīng)用于機器軸的角擺測量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測量；亦可以用于轉(zhuǎn)軸的角速度和角加速度的動態(tài)測量分析,。

（3）直線度鏡組

應(yīng)用于導(dǎo)軌或機器軸的直線度測量,，包含水平方向和垂直方向的直線度。

（4）平面度鏡組

按照國標(biāo)方式進行平面度的測量和分析,，其平面度羈絆長度可調(diào),。

（5）線性附件-輕型線性鏡組

輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡重量僅為8g,，可以直接在被測物體上,，有效降低線性反射鏡過重帶來的影響。主要應(yīng)用于先行反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機械性能或精度,；線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合,；負載敏感的動態(tài)測量。

（6）大角錐反射鏡

應(yīng)用于機器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量,，起反射光束的作用,。

（7）垂直度鏡組

應(yīng)用于兩條相互垂直的機器軸的垂直度測量場合。

SJ6000測量分辨率0.01″,，系統(tǒng)測量精度為±1″,，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要特點是小巧便攜,、功能強,、無線操作。具有測量精度高,、測量速度快,、高測速下分辨率高、測量范圍大等優(yōu)點,。