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SuperViewW1白光輪廓儀具有測量精度高、功能全面,、操作便捷,、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),,確保了高款率檢測,。并且其特殊光源模式,適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量,。儀器采用白光干涉技術(shù),,結(jié)合具有抗噪性能的3D重建算法,真實還原樣品的每一個細節(jié),,隨意翻轉(zhuǎn)縮放,,觀察、測量樣品的任意特征,。
產(chǎn)品功能
1) 一體化操作的測量與分析軟件,,操作無須進行切換界面,預先設(shè)置好配置參數(shù)再進行測量,,軟件自動統(tǒng)計測量數(shù)據(jù)并提供數(shù)據(jù)報表導出功能,,即可快速實現(xiàn)批量測量功能,。
2) 測量中提供自動多區(qū)域測量功能、批量測量,、自動聚焦,、自動調(diào)亮度等自動化功能。
3) 測量中提供拼接測量功能,。
4) 分析中提供調(diào)整位置,、糾正、濾波,、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,,其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能,;糾正包括空間濾波,、修描、尖峰去噪等功能,;濾波包括去除外形,、標準濾波、過濾頻譜等功能,;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能,。
5) 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,,其中粗糙度分析包括依據(jù)國際標準的ISO4287的線粗糙度,、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全參數(shù)分析功能,;幾何輪廓分析包括臺階高、距離,、角度,、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能,;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等,;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能,。
分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,,設(shè)置分析模板,結(jié)合測量中提供的自動測量和批量測量功能,,可實現(xiàn)對小尺寸精密器件的批量測量并直接獲取分析數(shù)據(jù)的功能,。
SuperViewW1白光輪廓儀集合了相移法PSI的高精度和垂直法VSI的大范圍兩大優(yōu)點,,適用于從超光滑到粗糙、平面到弧面等各種表面類型,,讓3D測量變得簡單,。可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等,提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D,、3D參數(shù)作為評價標準,。