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SJ6000機床激光干涉儀環(huán)境適應能力好,以光波為載體,,其光波波長可以直接對米進行定義,,具有測量精度高、測量范圍大,、測量速度快,、高測速下分辨率高等優(yōu)點,。使用激光干涉儀測量定位誤差,并用檢定軟件進行記錄,,可以輕松獲取軸上多點測量的誤差表,。這些誤差能夠被轉譯成補償值,在相應機床控制器軟件位置進行補償值的寫入,,實現(xiàn)機床的定位誤差補償(螺距補償),、反向間隙補償。
產品功能
(1)可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量,;
(2)可檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,,以及導軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,;
(3)可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準;
(4)可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,,為設備誤差修正提供依據(jù),;
(5)具有動態(tài)測量與分析功能,包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,,可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等,;
(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。
數(shù)控機床的傳動機構一般是滾珠絲桿副,,滾珠絲桿副在生產制造和裝配過程中都存在一定誤差,,且長期使用造成的磨損等因素都會使其精度下降,當前有效且廣泛應用的方法就是利用激光干涉儀對數(shù)控機床進行螺距誤差補償,。
SJ6000機床激光干涉儀對機床運動導軌和滾珠絲桿的各項參數(shù)檢測分析,、校準補償具有重要性,而機床在裝配、加工,、生產的同時需要頻繁的使用到激光干涉儀,,來進行多種幾何量精度參數(shù)的測量以及動態(tài)性能的測試、分析,。