中圖儀器光學(xué)輪廓儀SuperViewW1囊括粗糙度,、平面度,、孔洞分析等3D測量功能,，距離,、角度、直徑測量等2D輪廓分析功能覆蓋,，有依據(jù)ISO|ASME|EUR|GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)的300余種特征參數(shù),，是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

雙重防撞保護(hù)措施

除初級的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。

1）軟件防撞保護(hù)ZSTOP

ZSTOP，顧名思義,，就是軟件設(shè)置在Z軸上的停止位,，設(shè)置位置到樣品表面的距離小于鏡頭的工作距離，當(dāng)鏡頭運(yùn)動(dòng)到該位置時(shí),，就立刻停止不再向下運(yùn)動(dòng),，起到保護(hù)樣品和鏡頭的作用。

2）Z軸硬件防撞傳感器

在鏡頭的上方安裝有機(jī)械防撞傳感器,，當(dāng)鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時(shí),，觸發(fā)感應(yīng)器，鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,，并觸發(fā)緊急停止開關(guān),，不再響應(yīng)向下位移的指令，避免鏡頭和樣品的損傷,，雙重防護(hù),，守護(hù)設(shè)備和產(chǎn)品,，也守護(hù)每一分價(jià)值和信任。

中圖儀器光學(xué)輪廓儀分辨率0.1μm,，重復(fù)性0.1%,，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛，操作簡便,，可自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),。廣泛應(yīng)用于如納米材料,、航空航天、半導(dǎo)體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中,，可以說只有3d非接觸式光學(xué)輪廓儀才能達(dá)到微型范圍內(nèi)重點(diǎn)部位的納米級粗糙度,、輪廓等參數(shù)的測量。