中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線性、角度,、直線度,、垂直度、平面度等幾何量的檢測,，結(jié)合軟件系統(tǒng),，可以用于速度，加速度,，振動分析以及穩(wěn)定度等分析,，實(shí)時監(jiān)控精密加工機(jī)床等機(jī)器的動態(tài)數(shù)據(jù)，進(jìn)行動態(tài)特性分析,。

功能

1.可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

2.可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等,，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角,、直線度,、垂直度等；

3.可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測量,；

4.可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn),；

5.可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

6.具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

7.支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)測量分辨率可達(dá)0.01″,，系統(tǒng)測量精度為±1″,，基準(zhǔn)WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機(jī),、角度鏡組,、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成,。作為一個交流測試系統(tǒng),，當(dāng)激光光束強(qiáng)度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強(qiáng)變化影響發(fā)生變化,，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變,。因此,，它的抗擾力強(qiáng),，精度高，測量結(jié)果可靠,，在高精度要求的芯片光刻機(jī),、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。