中圖儀器SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)可以實現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平面度等幾何量的檢測，結(jié)合軟件系統(tǒng),，可以用于速度,，加速度，振動分析以及穩(wěn)定度等分析,，實時監(jiān)控精密加工機床等機器的動態(tài)數(shù)據(jù),，進行動態(tài)特性分析。

功能

1.可實現(xiàn)線性,、角度,、直線度、垂直度,、平行度,、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量,；

2.可檢測數(shù)控機床,、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等,，以及導軌的俯仰角,、扭擺角、直線度,、垂直度等,；

3.可實現(xiàn)龍門機床雙軸同步測量；

4.可實現(xiàn)對機床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準,；

5.可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表,，為設備誤差修正提供依據(jù)；

6.具有動態(tài)測量與分析功能,，包括位移分析、速度分析,、加速度分析,、振幅和頻率分析等,，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析,、驅(qū)動系統(tǒng)的響應特性分析等,；

7.支持手動或自動進行環(huán)境補償。

中圖儀器研發(fā)生產(chǎn)的SJ6000激光干涉儀測量系統(tǒng)測量分辨率可達0.01″,，系統(tǒng)測量精度為±1″,，基準WR50自動精密轉(zhuǎn)臺重復精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機,、角度鏡組,、WR50自動精密轉(zhuǎn)臺、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測量軟件構(gòu)成,。作為一個交流測試系統(tǒng),，當激光光束強度受環(huán)境影響發(fā)生變化時，其頻率不會受光強變化影響發(fā)生變化,，也不會因電平變化造成干涉信號的頻率改變,。因此，它的抗擾力強,，精度高,，測量結(jié)果可靠，在高精度要求的芯片光刻機,、計量檢測和前沿科研領(lǐng)域得到廣泛應用,。