SuperViewW1輪廓粗糙度光學(xué)測量儀具有表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測量功能，可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等參數(shù)。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動(dòng)對焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測量中提供自動(dòng)拼接測量、定位自動(dòng)多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

其中針對針對芯片封裝測試流程的測量需求，SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓測量儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm,，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測,、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測量,。而SuperViewW1-Pro 型號(hào)增大了測量范圍,，可覆蓋8英寸及以下晶圓，定制版真空吸附盤,，穩(wěn)定固定Wafer,；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),，隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。

SuperViewW1輪廓粗糙度光學(xué)測量儀以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體,，材料,，精密機(jī)械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器,。