SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉測(cè)量?jī)x除了環(huán)境適應(yīng)能力好,，還可以進(jìn)行動(dòng)態(tài)高速測(cè)量,，選配相應(yīng)的功能模塊元件后還可以測(cè)量振動(dòng)幅度、平面度,、線速度,、角速度等。

特點(diǎn)

1.精度高

以干涉技術(shù)為核心,，其光波可直接對(duì)米進(jìn)行定義,。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實(shí)現(xiàn)高精度,、抗擾力強(qiáng),、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出,；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實(shí)現(xiàn)激光波長(zhǎng)和材料的自動(dòng)補(bǔ)償,；干涉鏡與主機(jī)分離設(shè)計(jì),，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠,。

2.功能廣

可實(shí)現(xiàn)線性,、角度、直線度,、垂直度,、平行度、平面度,、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測(cè)量,；

可檢測(cè)數(shù)控機(jī)床,、三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等精密運(yùn)動(dòng)設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度,、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角,、扭擺角,、直線度、垂直度等,；

可實(shí)現(xiàn)龍門機(jī)床雙軸同步測(cè)量,；

可實(shí)現(xiàn)對(duì)機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測(cè)量與校準(zhǔn)；

可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動(dòng)生成誤差補(bǔ)償表,，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù),；

具有動(dòng)態(tài)測(cè)量與分析功能，包括位移分析,、速度分析,、加速度分析、振幅和頻率分析等,，可進(jìn)行振動(dòng)分析,、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,；

支持手動(dòng)或自動(dòng)進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償,。

3.軟件強(qiáng)

友好的人機(jī)界面；

豐富的應(yīng)用功能模塊,；

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簡(jiǎn)潔化的記錄管理,；

支持中文、英文和俄文界面,；

支持企業(yè)專屬模板定制,。

測(cè)量機(jī)床直角

如機(jī)器軸垂直度誤差測(cè)量（數(shù)控機(jī)床,、坐標(biāo)測(cè)量機(jī)等），SJ6000國(guó)產(chǎn)激光干涉測(cè)量?jī)x垂直度測(cè)量是通過(guò)比較直線度值從而確定兩個(gè)標(biāo)稱正交坐標(biāo)軸的非直角度,，即在同一基準(zhǔn)上對(duì)兩個(gè)標(biāo)稱正交軸分別進(jìn)行直線度的測(cè)量,。然后對(duì)兩個(gè)軸的直線度進(jìn)行比較，得出兩個(gè)軸的垂直度,。共同的參考基準(zhǔn)通常指的是兩次測(cè)量時(shí)反射鏡的光學(xué)準(zhǔn)直軸,，在兩次測(cè)量過(guò)程中既不移動(dòng)、也不調(diào)整,，光學(xué)直角尺測(cè)量中,，允許調(diào)整激光束與直線度的準(zhǔn)直，而不動(dòng)直線度反射鏡,。

測(cè)量機(jī)床垂直度

典型情況下對(duì)于1.5米長(zhǎng)的機(jī)器軸,，像使用激光干涉儀這樣的光學(xué)方法是好選擇，因?yàn)閭鹘y(tǒng)的實(shí)物基準(zhǔn),，如直角尺（金屬或大理石等）的長(zhǎng)度一般局限于1米的范圍內(nèi),。

量程精度

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測(cè)量距離：（0-80）m（無(wú)需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m