SuperViewW1三維白光干涉儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng),，使得其既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作。適用于各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、孔隙間隙,、磨損情況,、腐蝕情況、波紋度,、臺(tái)階高度,、表面缺陷、面形輪廓,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測(cè)量和分析。

結(jié)果組成

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析,，晶粒分析等；

2,、二維圖像分析：距離,，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；

3,、表界面測(cè)量：透明表面形貌,，薄膜厚度，透明薄膜下的表面,；

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量,；

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm

表面形貌重復(fù)性：0.1nm

臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性：0.1% 1σ,；準(zhǔn)確度：0.75%

SuperViewW1三維白光干涉儀分辨率0.1μm,，重復(fù)性0.1%，通過測(cè)量干涉條紋的變化來測(cè)量表面三維形貌,，專用于精密零部件之重點(diǎn)部位表面粗糙度,、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測(cè)量。應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,，操作簡(jiǎn)便,，可自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù),。