SuperViewW1三維白光干涉儀的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)，使得其既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標配靜音空壓機,，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。適用于各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度、孔隙間隙,、磨損情況、腐蝕情況,、波紋度,、臺階高度,、表面缺陷、面形輪廓,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。

結(jié)果組成

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度,，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析,，晶粒分析等,；

2、二維圖像分析：距離,，半徑，斜坡,，格子圖,，輪廓線等；

3,、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面；

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量,；

5,、劃痕形貌,，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復性：0.1nm

表面形貌重復性：0.1nm

臺階測量重復性：0.1% 1σ,；準確度：0.75%

SuperViewW1三維白光干涉儀分辨率0.1μm，重復性0.1%,，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌,，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量,。應用領(lǐng)域廣泛,，操作簡便,，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項參數(shù)。