中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀非接觸高精密測量方式,，不會劃傷甚至破壞工件，且測量速度快,，不必像探頭逐點進行測量,。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學加工,、微納材料及制造、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天,、科研院所等領域中。測量各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等參數。

工作原理

照明光束經半反半透分光鏡分成兩束光,，分別投射到樣品表面和參考鏡表面,。從這兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像,。由于兩束光相互干涉,，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,，所以根據白光干涉條紋明暗度就可以解析出被測樣品的相對高度,。

產品功能

1）設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數據處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結構分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

應用領域

SuperViewW1白光3D輪廓儀可對各種產品,、部件和材料表面的平面度、粗糙度,、波紋度,、面形輪廓、表面缺陷,、磨損情況,、腐蝕情況、孔隙間隙,、臺階高度,、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析,。