中圖儀器3d三維光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng)，光學(xué)成像系統(tǒng),，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成,。主要用于測量表面形貌或測量表面輪廓，此外具有的測量晶圓翹曲度功能,，非常適合晶圓,，太陽能電池和玻璃面板的翹曲度測量，應(yīng)變測量以及表面形貌測量,。是一款用于對各種精密器件及材料表面進(jìn)行亞納米級測量的檢測儀器,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能,；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能,；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

3d三維光學(xué)輪廓儀能對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、粗糙度、波紋度,、面形輪廓,、表面缺陷、磨損情況,、腐蝕情況,、孔隙間隙、臺階高度,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。廣泛應(yīng)用于光學(xué),，半導(dǎo)體,，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域,。

結(jié)果組成：

1,、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度,，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析，晶粒分析等,；

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖，輪廓線等,；

3、表界面測量：透明表面形貌,，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面；

4,、薄膜和厚膜的臺階高度測量,；

5、劃痕形貌,，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

主要應(yīng)用領(lǐng)域：

1,、用于太陽能電池測量；

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測量,；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測量,；

4,、用于機(jī)械部件的計量；

5,、用于塑料,，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測量。

中圖儀器光學(xué)輪廓儀集成X,、Y,、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移,、Z向聚焦,、找條紋等測量前工作。其隔振系統(tǒng)能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動,，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得高測量重復(fù)性,。