中圖儀器OP光學(xué)輪廓儀由照明光源系統(tǒng),，光學(xué)成像系統(tǒng)，垂直掃描系統(tǒng)以及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)構(gòu)成,。是以白光干涉技術(shù)為原理,，能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率，測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺(tái)階高,、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦、自動(dòng)找條紋,、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能,；

4）分析中提供校平,、圖像修描、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度,，波紋度,，表面結(jié)構(gòu),，缺陷分析，晶粒分析等,；

2,、二維圖像分析：距離，半徑,，斜坡,，格子圖，輪廓線(xiàn)等,；

3,、表界面測(cè)量：透明表面形貌，薄膜厚度,，透明薄膜下的表面,；

4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量,；

5,、劃痕形貌，摩擦磨損深度,、寬度和體積定量測(cè)量,；

6、微電子表面分析和MEMS表征,。

在同等放大倍率下,，中圖儀器OP光學(xué)輪廓儀的測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。它的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),，既可以接入客戶(hù)現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。