w1光學(xué)3D表面輪廓儀測(cè)量三維形貌的系統(tǒng)原理是在視場(chǎng)范圍內(nèi)從樣品表面底部到頂部逐層掃描,，獲得數(shù)百幅干涉條紋圖像，找到該過(guò)程中每一個(gè)像素點(diǎn)處于光強(qiáng)大時(shí)的位置,，完成3D重建,。

它以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以?xún)?yōu)于納米級(jí)的分辨率,，非接觸測(cè)量樣品表面形貌的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,，用于表面形貌紋理，微觀(guān)結(jié)構(gòu)分析,，用于測(cè)試各類(lèi)表面并自動(dòng)聚焦測(cè)量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué),，半導(dǎo)體,，材料，精密機(jī)械等領(lǐng)域,。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm

表面形貌重復(fù)性：0.1nm

臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性：0.1% 1σ,；準(zhǔn)確度：0.75%

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀(guān)形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

w1光學(xué)3D表面輪廓儀的X/Y方向標(biāo)準(zhǔn)行程為140*100mm，滿(mǎn)足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動(dòng)化檢測(cè),、鐳射槽深寬尺寸,、鍍膜臺(tái)階高等微納米級(jí)別精度的測(cè)量。而SuperViewW1-Pro 型號(hào)增大了測(cè)量范圍,，可覆蓋8英寸及以下晶圓,，定制版真空吸附盤(pán)，穩(wěn)定固定Wafer,；氣浮隔振+殼體分離式設(shè)計(jì),，隔離地面震動(dòng)與噪聲干擾。是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域高精度的檢測(cè)儀器之一,。在同等放大倍率下,，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。