SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀器是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,，通過(guò)系統(tǒng)軟件對(duì)器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù),，從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀通過(guò)利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢(shì)獲得全面的表面特性,。既可以用于科學(xué)研究,，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測(cè),。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能,；

2）測(cè)量中提供自動(dòng)對(duì)焦,、自動(dòng)找條紋、自動(dòng)調(diào)亮度等自動(dòng)化輔助功能,；

3）測(cè)量中提供自動(dòng)拼接測(cè)量,、定位自動(dòng)多區(qū)域測(cè)量功能；

4）分析中提供校平,、圖像修描,、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析,、頻率分析,、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時(shí)提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1,、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量；

2,、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量,；

3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測(cè)量,；

4,、用于機(jī)械部件的計(jì)量；

5,、用于塑料,，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀器的雙通道氣浮隔振系統(tǒng)設(shè)計(jì),，既可以接入客戶現(xiàn)場(chǎng)的穩(wěn)定氣源也可以采用便攜加壓裝置直接加壓充氣,，在無(wú)外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作，可以有效隔絕地面?zhèn)鲗?dǎo)的振動(dòng),，同時(shí)內(nèi)部隔振系統(tǒng)能夠有效隔絕聲波振動(dòng),，確保儀器在車(chē)間也能正常工作。

可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè),、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車(chē)零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天,、科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y(cè)各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度,、平整度,、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù),。