SuperView W系列一鍵3d輪廓測量儀通過利用接觸式及非接觸式雙模式基于技術(shù)上的優(yōu)勢獲得獲得全面的表面特性,。既可以用于科學(xué)研究，也可以用于工業(yè)產(chǎn)品的檢測,。主要是用于測量表面形貌或測量表面輪廓外,，具有測量晶圓翹曲度的功能。

性能特色

1,、高精度,、高重復(fù)性

1）采用光學(xué)干涉技術(shù)、精密Z向掃描模塊和優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng),，保證測量精度高,；

2）*的隔振系統(tǒng)，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動(dòng),，消除地面振動(dòng)噪聲和空氣中聲波振動(dòng)噪聲,，保障儀器在大部分的生產(chǎn)車間環(huán)境中能穩(wěn)定使用，獲得*的測量重復(fù)性,；

2,、一體化操作的測量分析軟件

1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數(shù)據(jù)自動(dòng)統(tǒng)計(jì),，實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能,；

2）可視化窗口，便于用戶實(shí)時(shí)觀察掃描過程,；

3）結(jié)合自定義分析模板的自動(dòng)化測量功能,，可自動(dòng)完成多區(qū)域的測量與分析過程；

4）幾何分析,、粗糙度分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析,、功能分析五大功能模塊齊全,；

5）一鍵分析、多文件分析,，自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,，批量樣品一鍵分析，并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計(jì)圖表功能,；

6）可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D,、3D參數(shù)。

3,、精密操縱手柄

集成X,、Y、Z三個(gè)方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,，可快速完成載物臺(tái)平移,、Z向聚焦、找條紋等測量前工作,。

4,、雙重防撞保護(hù)措施

除初級(jí)的軟件ZSTOP設(shè)置Z向位移下限位進(jìn)行防撞保護(hù)外，另在Z軸上設(shè)計(jì)有機(jī)械電子傳感器,，當(dāng)鏡頭觸碰到樣品表面時(shí),，儀器自動(dòng)進(jìn)入緊急停止?fàn)顟B(tài)，最大限度的保護(hù)儀器,，降低人為操作風(fēng)險(xiǎn),。

5、雙通道氣浮隔振系統(tǒng)

既可以接入客戶現(xiàn)場的穩(wěn)定氣源也可以接入標(biāo)配靜音空壓機(jī),，在無外接氣源的條件下也可穩(wěn)定工作,。

SuperView W系列一鍵3d輪廓測量儀以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級(jí)的分辨率,，測試各類表面并自動(dòng)聚焦測量工件獲取2D,，3D表面粗糙度,、輪廓等一百余項(xiàng)參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué),，半導(dǎo)體,，材料，精密機(jī)械等等領(lǐng)域,。

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm

橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um

粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm

表面形貌重復(fù)性：0.1nm

臺(tái)階測量:重復(fù)性：0.1% 1σ,；準(zhǔn)確度：0.75%

SuperView W系列輪廓測量儀能對(duì)各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度,、粗糙度,、波紋度、面形輪廓,、表面缺陷,、磨損情況、腐蝕情況,、孔隙間隙,、臺(tái)階高度、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析,。