超精密加工這個行業(yè)覆蓋面比較廣,，包括航空航天上用到精密零部件,，包括金屬、陶瓷片和石英制的精密器件,，大多數(shù)由于要求在檢測過程中不能劃傷器件表面,，因此在檢測方式上需要采用非接觸式的方式，因而需要用白光干涉儀這類光學(xué)測量儀器,。從檢測效果和操作簡便上來看,，白光干涉儀是比較有優(yōu)勢的產(chǎn)品。

w系列光學(xué)表面輪廓儀是以白光干涉技術(shù)為原理,、結(jié)合精密Z向掃描模塊,、3D 建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D,、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器,。

產(chǎn)品功能

1）設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高,、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦,、自動找條紋,、自動調(diào)亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量,、定位自動多區(qū)域測量功能,；

4）分析中提供校平、圖像修描,、去噪和濾波,、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析,、幾何輪廓分析,、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能,。

w系列光學(xué)表面輪廓儀可以測到12mm，也可以測到更小的尺寸,，xy載物臺標(biāo)準(zhǔn)行程為140*110mm（可擴展）,，局部位移精度可達(dá)亞微米級別，鏡頭的橫向分辨率數(shù)值可達(dá)0.4um,，Z向掃描電機可掃描10mm范圍,，縱向分辨率可達(dá)0.1nm級別，因此可測非常微小尺寸的器件,；也可以測量大尺寸樣品,，支持拼接功能，將測量的每一個小區(qū)域整合拼接成完整的圖像,，拼接精度在橫向上和載物臺橫向位移精度一致,，可達(dá)0.1um。

光學(xué)3D表面輪廓儀可測各類從超光滑到粗糙,、低反射率到高反射率的物體表面,，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度,、微觀幾何輪廓,、曲率等，對各種產(chǎn)品,、部件和材料表面的平面度,、表面缺陷、磨損情況,、粗糙度,、波紋度、臺階高度,、面形輪廓,、腐蝕情況、孔隙間隙,、彎曲變形情況,、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測,、3C電子玻璃屏及其精密配件,、光學(xué)加工、微納材料及制造,、汽車零部件,、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航天,、科研院所等領(lǐng)域中。